這個(gè)由中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所和上海硅業(yè)集團(tuán)有限公司聯(lián)合發(fā)起的研究院，致力于襯底材料和工藝材料的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，積極開(kāi)展面向企業(yè)和產(chǎn)業(yè)化需求的技術(shù)研究。

例如，該所針對(duì)拋光墊，拋光液材料性質(zhì)，拋光壓力，拋光溫度，拋光液流量等拋光工藝對(duì)大硅片平面度的影響，開(kāi)發(fā)了一整套大硅片拋光液由該研究所技術(shù)建立的上海錢(qián)新集成電路有限公司第一個(gè)CMP拋光墊已正式出樣

在光刻材料研發(fā)方面，該所采用創(chuàng)新范式提高材料研發(fā)效率，建立了光刻材料基因組該所以高通量材料制備平臺(tái)，短流程器件工藝平臺(tái)，高通量材料表征平臺(tái)，材料性能數(shù)據(jù)庫(kù)平臺(tái)和材料模擬計(jì)算平臺(tái)為支撐，與合作單位共同提高光刻材料的研發(fā)，篩選，優(yōu)化和應(yīng)用效率

面對(duì)前沿的材料技術(shù)，木材研究所和上海微系統(tǒng)公司資助的氮化鋁薄膜材料基因組計(jì)劃開(kāi)發(fā)了具有嵌入式空腔的SOI襯底，并成功應(yīng)用于制作全封閉式環(huán)柵器件。